お客様のアプリケーションに最適なソースパッケージを見つけるため、下記の質問にお答えください。 ソースと電源(more info) :
お客様のアプリケーションは生産ですか、それとも研究ですか？ 生産 研究 Please select one. Please select only one. お客様のプロセスガスは反応性(酸化物)ですか、それとも不活性(金属)ですか？ 反応性 不活性 Please select one. Please select only one.
必要となるビーム形状とサイズについて (more info) :
DC、RFどちらのタイプのイオンビームソースをお使いですか？ DC RF Please select one. Please select only one. パーツをエッチング(アシスト)されていますか、それともターゲットをスパッタリング(デポジション)されていますか？ アシスト デポジション Please select one. Please select only one. お客様のパーツ(ターゲット)は、どの程度のイオンビーム電流を必要としますか？ low medium melt me now Please select one. Please select only one.
